
웨이퍼는 실리콘(Si), 갈륨 아세나이드(GaAs) 등을 성장시켜 만든 단결정 기둥을 적당한 두께로 얇게 썬 원판을 말합니다.
비즈컨은 웨이퍼의 평탄도와 두께를 측정할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
웨이퍼의 두께와 평탄도등을 정밀하게 측정하여 제품의 품질 관리할 수 있습니다.
-
WMS3000
전자동 웨이퍼 실시간 두께 측정 장비
반도체 웨이퍼 두께 측정
반도체 공정 실시간 두께 측정
2개의 로봇 암 이용, 측정 소요 시간 단축 및 자동화 공정
고정밀 두께 측정시스템과의 연동을 통한 정밀한 측정
OCR을 이용한 측정대상과 결과 통합 관리
측정 후 다양한 형태의 결과 확인
MES 연동을 위한 기능 탑재
download