블랭크 마스크(Blank Mask)란 반도체 및 평판디스플레이 공정 재료인 포토 마스크의 원재료이다. 석영 유리 기판에 얇은 크롬 막과 감광막을 입히는 방식으로 생산한다.
비즈컨의 솔루션은 블랭크 마스크의 두께와 평탄도를 신속 정확하게 측정하여 제품의 품질을 편리하게 관리할 수 있습니다.
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Zflat3000
블랭크 마스크 평탄도/결함 검사 장비
반도체, LCD 및 OLED용 마스크 검사
Flatness 측정(FTIR, BTIR)
Thickness 측정
결함 검사(표면결함, 내부 기포 등)
비접촉식 광학 두께 측정 기술 적용
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