Zflat Series 는 물체의 평탄도를 측정할 수 있는 장비 시리즈입니다.
블랭크 마스크 또는 평판 디스플레이, 반도체 웨이퍼의 평탄도를 정밀하게 측정하여
제품의 생산성을 높일 수 있습니다.
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Zflat3000
블랭크 마스크 평탄도/결함 검사 장비
반도체, LCD 및 OLED용 마스크 검사
Flatness 측정(FTIR, BTIR)
Thickness 측정
결함 검사(표면결함, 내부 기포 등)
비접촉식 광학 두께 측정 기술 적용
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